層疊型壓電陶瓷及其製造方法、壓電元件和壓電振動裝置與流程

層疊型壓電陶瓷及其製造方法、壓電元件和壓電振動裝置與(yu) 流程

背景技術：

關(guan) 於(yu) 壓電陶瓷，利用由壓電陶瓷形成的壓電元件通過機械性位移而產(chan) 生電荷、或者通過電極間的電位差而產(chan) 生機械性位移的性質，被廣泛地用於(yu) 傳(chuan) 感器、致動器等中。

作為(wei) 構成壓電元件的壓電陶瓷的組成，廣泛使用鈦酸鋯酸鉛(pb(zr,ti)o3、pzt)及其固溶體(ti) 。pzt類的壓電陶瓷具有以下優(you) 點：由於(yu) 具有較高的居裏溫度，因此即使在高溫環境下也能夠使用，並且由於(yu) 具有較高的機電耦合係數，因此能夠對電能與(yu) 機械能高效地進行轉換。另外，通過選擇適當的組成，能夠以低於(yu) 1000℃的溫度進行燒製，因此具有能夠降低壓電元件的製造成本的優(you) 點。尤其是，在層疊型壓電陶瓷中，與(yu) 壓電陶瓷同時燒製的內(nei) 部電極中能夠使用減少了鉑或鈀等高價(jia) 格材料的含量的低熔點材料，產(chan) 生大幅降低成本的效果。但是，pzt類的壓電陶瓷含有作為(wei) 有害物質的鉛，這被視為(wei) 問題，希望使用不含鉛的壓電陶瓷代替pzt類的壓電陶瓷。

至今為(wei) 止，作為(wei) 不含鉛的壓電陶瓷的組成，公開有堿金屬铌酸鹽((li,na,k)nbo3)類、鈦酸鉍鈉((bi0.5na0.5)tio3、bnt)類、鉍層狀化合物類和鎢青銅類等各種壓電陶瓷。其中，堿金屬铌酸鹽類的壓電陶瓷由於(yu) 其居裏溫度高，機電耦合係數比較大，因此作為(wei) 代替pzt類的壓電陶瓷而受到關(guan) 注.

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