描述：雙光束激光幹涉儀專門用於壓電薄膜的蝴蝶曲線和縱向壓電係數d33的測試。
這一台適合於從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的雙光束激光幹涉儀。
半自動的係統用於8“晶圓上的MEMS器件的壓電性和電性相關性能的測試。
大量樣品測試的重複精度可達2%以上。

雙光束激光幹涉儀(yi) aixDBLI
(Double Beam Laser Interferometer)

雙光束激光幹涉儀(yi) 專(zhuan) 門用於(yu) 壓電薄膜的蝴蝶曲線和縱向壓電係數d33的測試。
這一台適合於(yu) 從(cong) 小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的雙光束激光幹涉儀(yi) 。
半自動的係統用於(yu) 8"晶圓上的MEMS器件的壓電性和電性相關(guan) 性能的測試。
大量樣品測試的重複精度可達2%以上。

測試功能：
機電大信號應變、極化、壓電係數、小信號介電常數。
疲勞和電性及機械性能可靠性。

樣品測試：
極化曲線和位移曲線。
小信號電容及壓電係數。

技術參數：
分辨率： ≤1 pm（X晶向的石英）
測量範圍：5pm- +/- 25nm
波長：632.8nm
位移/應力測試：>50Hz，最小1Hz分辨率，100mV到10V（可選到200V）
壓電d33係數：
  基電壓100mV到10V（1mHz到1Hz），可選到200V
  小信號100mV到10V（1kHz到5kHz）
C-V測試：
  基電壓100mV到10V（1mHz到1Hz），可選到200V
小信號100mV到10V（1kHz到5kHz）