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2017-08-18
+2018-03-20
+2018-01-08
+品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 國產 |
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應用領域 | 電子,交通,航天,汽車,電氣 |
WSHD-600型晶圓均勻加熱裝置
關(guan) 鍵詞:晶圓,均勻,6寸
晶圓是指矽半導體(ti) 集成電路製作所用的矽晶片,其形狀為(wei) 圓形;晶圓高溫測試是集成電路行業(ye) 一道重要製程,通過嚴(yan) 格的高溫測試可以預先剔除不良芯片,降低後續高昂的封裝成本。WSHD-600型晶圓均勻加熱裝置是一種特殊設計的均勻加熱裝置。為(wei) 保證晶圓高溫測試精度,要求整個(ge) 吸盤表麵各點的溫度控製在設定溫度±1℃的範圍內(nei) ,最大可以達到±0.03℃,是目前研究晶圓半導體(ti) 重要輔助工具。
主要技術參數;
1、溫度:室溫-200℃,650℃,1000℃,
2、加熱速率:40℃/min,
3、加熱台尺寸:6寸,8寸,12寸等可以定製
4、控溫精度:±1 ℃
5、加熱溫度均勻度允許誤差:±1℃
6、加熱台需可抗壓:100KN
7、可配合各種電學測試設備進行電學數據功能采集
8、表麵處理:鍍膜,鍍金或是黑礬石
9、熱台材質:不鏽鋼或銅
10、可以配合各種電學測試係統及探針測試
6寸晶圓在不同溫度下均勻性