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2021-08-03
+2021-05-06
+2016-07-08
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詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 能源,電子,汽車,電氣,綜合 |
JKZC-DCHH係列高低溫真空探針台
產(chan) 品概要
JKZC-DCHH係列高低溫真空探針台是我司自主研發的一款在環境下給樣品加載電學信號的設備。可以實現 器件及材料表征的IV/CV特性測試，射頻測試，光電測試等。通過液氮或者壓縮機製冷，可以在防輻射屏內(nei) 營造一個(ge) 穩定的測試環境。在特殊材料，半導體(ti) 器件等研究方向具有廣泛運用。
極低溫測試:因為(wei) 晶圓在低溫大氣環境測試時，空氣中的水汽會(hui) 凝結在晶圓上，會(hui) 導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nei) 的水汽在測試前用泵抽走，並且保持整個(ge) 測試過程 泵的運轉。
高溫無氧化測試:當晶圓加熱至300°C,400°C,500°C甚至更高溫度時，氧化現象會(hui) 越來越明顯，並且溫度越 高氧化越嚴(yan) 重。過度氧化會(hui) 導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內(nei) 的氧氣在測試前用泵抽走,並且保持整個(ge) 測試過程泵的運轉。
技術特點
-防輻射屏和熱沉設計；
•降溫速度快，常溫降至77k<25mins,大大提高測試效率；
•液氮自動控製係統，液氮流量模塊和溫度控製模塊一起聯動共同控製溫度。
詳細參數
產(chan) 品類型 | 低溫開循環 | 低溫閉循環 | |
主體(ti) 材料 | 航空鋁 | 航空鋁 | |
型號 | JKZC-JKZC-DCHH-196k | JKZC-JKZC-DCHH4k | |
外形 | 850*850*600mm | 900*850*600mm | |
重・ | 約100kg | 約150kg | |
電力需求 | AC220V,50〜60HZ | AC380V,50~60HZ | |
腔體(ti) | 腔體(ti) 尺寸 | 8英寸，帶4英寸高紅外透射率觀察窗 | |
樣品台尺寸 | 2英寸/4英寸（鍍金） | 2英寸（鍍金） | |
樣品固定方式 | 真空導熱矽脂/彈簧壓片 | ||
真空度 | 10A-5pa最高真空 | ||
接口形式 | 電信接口，真空接口，光纖接口，冷源接口等 | ||
其它 | 帶防輻射屏和熱沉設計 | ||
溫控係統 | 製冷方式 | 液氮 | 壓縮機 |
溫控範圍 | 77K-473K （973k可選） | 4.2K~450K | |
溫控精度和穩定性 | 土 0丄度/±0丄度 | ||
降溫速度 | 常溫降到77k優(you) 於(yu) 25mins | 常溫降到：10k優(you) 於(yu) 180mins | |
控製方式 | 液氮自動流量控製 | 壓縮機控製 | |
光學係統 | 顯微鏡類型 | 體(ti) 式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像係統 | 體(ti) 式/單筒顯微鏡+CCD成像係統 |
倍率範圍 | 16X~200X/40X~280X/20X 〜2000X | 16X-200X/40X-280X | |
移動範圍 | 水平360度旋轉，Z軸50.8mm調焦，帶萬(wan) 向支架 | ||
真空腔觀察窗尺寸 | 4inch | 4inch | |
CCD像素 | 2k或者4K相機，幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能 | ||
探針臂 | 探針臂數・ | 最多6個(ge) | |
X¥Z行程 | 50mm-25mm-25mm | ||
點針精度 | 10微米/2微米 | ||
漏電精度 | 同軸夾具10pA/三軸夾具100 fA | ||
接口形式 | 三軸/SMA/K/光纖接口 | ||
頻率範圍 | JKZC-DCH-67G | ||
探針 | 探針直接 | lum~100um 可選 | |
材質 | 磚鋼，披銅 | ||
真空係統 | 機械泵/分子泵組/離子泵 | ||
可選附件 | 防震桌，鍍金卡盤，氣敏測試組件等 | ||
應用方向 | 高低溫真空環境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等 | ||
搭配產(chan) 品/半導體(ti) 參數分析儀(yi)
我們(men) 經過近10年的發展,在測試儀(yi) 器與(yu) 探針台的搭配方麵具備十分 豐(feng) 富的經驗。半導體(ti) 參數分析儀(yi) 方麵，我們(men) 和是德科技(Keysight)、泰克(Tektronix)、概倫(lun) 電子(PRIMARIUS)等公司的半導體(ti) 參數分析儀(yi) 有過多次搭配經驗，係列型號有Keysight B1500A、Keith ley 4200A-SCS、PRIMARIUS FS-Pro等,並為(wei) 用戶提供半導體(ti) 參數分析 儀(yi) 與(yu) 探針台集成測試方案和服務。
搭配產(chan) 品/矢量網絡分析儀(yi)
依靠與(yu) 儀(yi) 器設備廠商和設備集成經銷商所保持良好的合作關(guan) 係，我司可為(wei) 用戶提供是德科技(Keysight)、中電思儀(yi) (Ceyear)等公司的網絡分析儀(yi) 和模塊，有Keysight E5063A/E5072A/E5061B/E5080B ENA、Keysight(N522x/3x/4xB) PNA、Keysight N5290A/ N5291A、Ceyear 3762A/B/C-S、Ceyear 3671C/D/E等,各係列型號的矢量網絡 分析儀(yi) 和毫米波網絡分析儀(yi) ，涵蓋不同測量頻率範圍、性能和功能，並 為(wei) 用戶提供網絡分析儀(yi) 與(yu) 探針台集成測試方案和服務,具備豐(feng) 富的測 試經驗。
搭配產(chan) 品/其他類型源表
在其它類型源表方麵，比如tek2450,tek2600,keysight2900,普賽斯S300,鐵電分析儀(yi) ，各類示波器，各類電源，頻譜儀(yi) 等等都有多年的搭配經驗。
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