描述：非標探針台/微型探針台/倒裝手動測試夾具/光電流測試顯微鏡/TEC製冷卡盤/磁場探針台(無磁設計)/110g以上高頻測試探針台/自動測試係統/可升降平台/高精度納米探針座/毫米級手持式探針夾具/毫米級手持式探針夾具/FA失效分析探針台

非標探針台

I (1)微型探針台

•整機外形尺寸:約380mmL*300mmW*320mm H,重量:約10 kg；

•雙探針座平台鍍鏢設計，提高了針座平台和針座之間的吸附力；

• ChJKZC-UCk XY微分頭設計，行程25mm*25mm,精度2um；

• ChJKZC-UCk大小：2英寸，中心吸附孔和多圈吸附環固定樣品,均獨立控製；

•卡盤電學獨立懸空，帶4mm香蕉頭插口,可以作為(wei) 背電極使用；

-台體(ti) 底板帶高性能防震海綿，可一定程度減小外界震動對測試的幹擾;

•整機人體(ti) 工程學設計，操作簡單，使用便捷。

| (2)倒裝手動測試夾具

-可給樣品加載DC或者RF信號；

•樣品可在0~180度任意角度內(nei) 進行旋轉並固定；

-具備微調功能，精度0.1度；

•玻璃樣品載台，高透光性；

•可無磁化設計，在光學,電磁等環境中運用較為(wei) 廣。

| (3)光電流測試顯微鏡

-可在原有光路基礎上可以導入另一路光源，用於(yu) 輻照樣品以測試樣品在特定波長及能量下電學性能；

-顯微鏡設計為(wei) 雙光路或3光路，其中一路為(wei) 導入光通路，另一到兩(liang) 路為(wei) 成像光路導入光為(wei) 平行的激光或其它線性光源 ,波長範圍200nm~20000nm,中間可加入多個(ge) 波片過濾,起偏及偏振角度無級360度調節。光斑輻照直徑有650nm紅光 指示。所有模塊均可拉出設計，對導入光性質無影響；

-導入光光路可選擇光時間開關(guan) ,精確控製導入光的輻照時間，精度1ms,範圍2ms~oo,在控製界麵上可對各種參數進 行詳細設置，成像光路為(wei) 同軸照明金相成像，其中一路為(wei) 1倍成像，可選擇第2路成像，為(wei) 物鏡的0.25-10倍率，通常在高 低溫測試係統裏會(hui) 用到，同一個(ge) 物鏡不切換，得到兩(liang) 個(ge) 不同視野的成像。

（4）TEC製冷卡盤

•釆用TEC製冷，無需液氮，使用方便；

可給樣品提供不同溫度環境；

-樣品台大小可選，防幹擾設計，具備良好的接地性能;

•溫度範圍:負45°C~150°C,溫度分辨率：0.1°C,

溫度穩定性：土 0.3°C；

•樣品台微調升降，行程0-10mm,精度10um.

 (5)磁場探針台(無磁設計)

•在探針台的基礎上，可加載三維磁場，多維磁場，磁場強度，精度和間隙均可調整;

-高剛性結構，所有零配件均采用無磁化材料；

-可加載高低溫，可同時進行DC和RF測試；

可以旋轉，科客製化。

|⑹110g以上高頻測試探針台

-可配合市場主流擴頻模塊進行超高頻測試；

•大行程高精度探針座,X-Y-Z-Theta四軸控製；

-顯微鏡可以在2英寸*2英寸*2英寸範圍內(nei) 移動,擴大了顯微鏡視場；

-兼容直流與(yu) 高頻信號；

-可以定製,可升級性強；

-最大可以測試12英寸樣品,探針台chJKZC-UCk具備升降功能，便於(yu) 樣品和 探針的快速分離。

(7)自動測試係統

-自動探針測試係統，可以與(yu) 半參，網分聯動；

-電動二維平台，可手動和電動操作；

• ChJKZC-UCk XY軸運動行程100*100mm,複定位精度＜±lum；

• X-Y軸驅動:電機+絲(si) 杆+光柵尺；

-探針/光纖探針XYZ軸電動模塊30*30*30mm,複定位精度W ±lum；

-X-Y-Z軸驅動:電機+絲(si) 杆+光柵尺。

| (8)可升降平台

產(chan) 品型號：T-station

產(chan) 品參數：

-尺寸和重量定製；

-單個(ge) 探針座平台最多可同時放置3個(ge) 探針座；

-探針座平台表麵鍍鏢，增大與(yu) 探針座之間的吸附力;

-隱匿螺紋固定於(yu) 標準蜂窩板，美觀，並且方便拆卸；

-平台可升降，升降高度和精度可定製；

-可配合光電流顯微鏡使用。

| (9)高精度納米探針座

產(chan) 品型號：JKZC-DCH-20nm

產(chan) 品參數：

-X軸分辨率：20nm,行程30um (旋鈕控製盒)；

-YZ軸分辨率：10um,行程+-6.5mm；

-釆用高精度壓電陶瓷設計，可以固定步距撥動樣品或者納米線。

(10)毫米級手持式探針夾具

產(chan) 品型號：JKZC-DCH

產(chan) 品參數

•整體(ti) 尺寸:20*20*180mm;

-萬(wan) 向調節旋鈕，方向可調，鬆緊可調；

磁吸底座，直徑20mm;

•兼容彈簧針和晶圓針；

-Cable接頭可定製三軸，同軸或者其它。

(11) FA失效分析探針台

產(chan) 品型號：FA

產(chan) 品參數

•探針台係統可以選用：4~12英寸JKZC-DN係列探針台。

•激光係統可以選用美國ESI三波段激光器或者法國 quantel激光器

•美國ESI (NEWWAVE)激光器參數

鐳射波長1064和532nm和355nm

輸出功率2.2mJ/pulse

擊打頻率lHz~50Hz

可加工的材質:Copper/Gold/Poly Silicon/Alu minum/Silicon Dixoide等

最小加工尺寸1微米(使用100X物鏡)

         最大加工尺寸40微米(使用50X物鏡)